現(xiàn)有的電子無塵室凈化工程采用的空氣凈化裝置主要包括回風管、送風管、空調和空氣凈化器，回風管的出風端與空氣凈化器的進風端連接，空氣凈化器的出風端與空調的進風端連接，空調的出風端與送風的進風端連接，外界的空氣經過空氣凈化器凈化后再通過空調制冷，然后通過送風管出入無塵室內。由于回風管只通過一個回風口回風，使得無塵室內的各個角落的空氣凈化不均勻，導致整個電子無塵室內空氣清潔度達不到萬級要求。
    目前，萬級電子無塵室凈化工程施工過程采用了一種新的空氣凈化裝置�；仫L管設置有多條回風支管，每條回風支管的進風端均設置有進風盒，使得電子無塵室內的各個角落的空氣凈化均勻，有效的克服現(xiàn)有技術的不足。使整個電子無塵室的空氣清潔度達到萬級要求。

電子工程十萬級凈化車間